本机器是一款带CCD视觉系统的激光刻蚀设备,带有视觉放大系统和辅助定位功能,可大幅提高刻蚀精度和刻蚀重复性,减少基片间刻蚀差异,适用于钙钛矿器件、OLED、ITO/FTO、柔性导电基底的高精度刻蚀划线,也可用于其他薄膜的去除、划线和硅片的切割等工作,可完成钙钛矿电池的P1/P2/P3/P4工序。
咨询定制热线:155-0165-5918
★ CD视觉辅助定位系统,定位与重复精度高;
★ 封闭式机柜,智能化设备,XY轴伺服驱动样品台面;
★ 带除尘除烟功能,避免激光对操作人员身体的危面。
| 激光功率 | 3W |
| 波长 | 355nm(纳秒脉冲) |
| 寿命 | 2万小时 |
| 频率范围 | 30-120KHz |
| 刻蚀范围 | ≤130mm |
| 线宽 | 0.02mm |
| CCD功能 | CCD视觉系统 |
| 激光重复精度 | ±0.01mm |
| 速度 | 10000mm/s |
| 振镜 | 进口 |
| 软件 | 兼容AutoCAD,Coredraw,Photoshop格式 |
| 环境要求 | 0-45℃,湿度≤90% |
| 冷却方式 | 水冷 |
| 设备尺寸 | 1100mm*790mm*1730mm |
| 重量 | 约180KG |