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激光刻蚀机

本机器是一款带CCD视觉系统的激光刻蚀设备,带有视觉放大系统和辅助定位功能,可大幅提高刻蚀精度和刻蚀重复性,减少基片间刻蚀差异,适用于钙钛矿器件、OLED、ITO/FTO、柔性导电基底的高精度刻蚀划线,也可用于其他薄膜的去除、划线和硅片的切割等工作,可完成钙钛矿电池的P1/P2/P3/P4工序。

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咨询定制热线:155-0165-5918

-技术特点-

★ CD视觉辅助定位系统,定位与重复精度高;

★ 封闭式机柜,智能化设备,XY轴伺服驱动样品台面;

★ 带除尘除烟功能,避免激光对操作人员身体的危面。

-性能参数-
激光功率3W
波长355nm(纳秒脉冲)
寿命2万小时
频率范围30-120KHz
刻蚀范围≤130mm
线宽0.02mm
CCD功能CCD视觉系统
激光重复精度±0.01mm
速度10000mm/s
振镜进口
软件兼容AutoCAD,Coredraw,Photoshop格式
环境要求0-45℃,湿度≤90%
冷却方式水冷
设备尺寸1100mm*790mm*1730mm
重量约180KG