本机器是一款带CCD视觉系统的激光刻蚀设备,带有视觉放大系统和辅助定位功能,可大幅提高刻蚀精度和刻蚀重复性,减少基片间刻蚀差异,适用于钙钛矿器件、OLED、ITO/FTO、柔性导电基底的高精度刻蚀划线,也可用于其他薄膜的去除、划线和硅片的切割等工作,可完成钙钛矿电池的P1/P2/P3/P4工序。
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★ CD视觉辅助定位系统,定位与重复精度高;
★ 封闭式机柜,智能化设备,XY轴伺服驱动样品台面;
★ 带除尘除烟功能,避免激光对操作人员身体的危面。
激光功率 | 3W |
波长 | 355nm(纳秒脉冲) |
寿命 | 2万小时 |
频率范围 | 30-120KHz |
刻蚀范围 | ≤130mm |
线宽 | 0.02mm |
CCD功能 | CCD视觉系统 |
激光重复精度 | ±0.01mm |
速度 | 10000mm/s |
振镜 | 进口 |
软件 | 兼容AutoCAD,Coredraw,Photoshop格式 |
环境要求 | 0-45℃,湿度≤90% |
冷却方式 | 水冷 |
设备尺寸 | 1100mm*790mm*1730mm |
重量 | 约180KG |